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　　干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備。而螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問題，便是轉(zhuǎn)子端面型線。日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。

　　第一、轉(zhuǎn)子端面型線

　　螺桿真空泵主要部件是一對(duì)旋向相反的螺距螺桿，電機(jī)的傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過一對(duì)高精度的同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)螺桿，兩螺桿間留有間隙，通過兩轉(zhuǎn)子的嚙合達(dá)到抽氣的目的如圖 1。

　　第二、核心技術(shù)螺桿齒形

　　不同的齒形直接決定著泵的極限真空、抽氣速率、容積效率、振動(dòng)和噪聲等技術(shù)性能指標(biāo)的差異。目前螺桿真空泵的端面型線主要分為兩種，單頭轉(zhuǎn)子型線和多頭轉(zhuǎn)子型線。如圖 2、3 所示。

　　源于螺桿壓縮機(jī)的多頭轉(zhuǎn)子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把 4－6 頭螺桿轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上，韓國 LG 公司的真空泵目前也使用多頭轉(zhuǎn)子型線，由于兩嚙合轉(zhuǎn)子接觸線的頂點(diǎn)不能達(dá)到陰、陽轉(zhuǎn)子氣缸孔的交線，在接觸線頂點(diǎn)和機(jī)殼的轉(zhuǎn)子氣缸孔之間，會(huì)形成一個(gè)空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個(gè)泄漏三角形的存在，導(dǎo)致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉(zhuǎn)子加工難度大，需要專用機(jī)床，造價(jià)昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場(chǎng)。

　　 第三、變螺距設(shè)計(jì)

　　除了使用一對(duì)非等距螺桿以外，變螺距螺桿式設(shè)計(jì)和等螺距螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。而等螺距螺桿式設(shè)計(jì)中，氣體通路最短也最簡(jiǎn)單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。

　　第四、輔助效能

　　螺桿真空泵結(jié)構(gòu)主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、冷卻循環(huán)和密封件構(gòu)成。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。

　　所以我將通過如下幾個(gè)方面介紹干泵特點(diǎn)：

　　一、在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。

　　二、在冷卻方式上，等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣效果。冷卻系統(tǒng)是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，以下有三種方式：

　　研究展望干式螺桿真空泵國內(nèi)的研究還處在起始階段，很多技術(shù)難題還沒有解決。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)、降低排氣口溫度、增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問題仍然很棘手，當(dāng)抽取一些活潑氣體時(shí)，由于排氣溫度高,安全性也是需要設(shè)計(jì)中考慮的，用在需要控制音量的場(chǎng)合，如何降噪也要成為研究方向。但其優(yōu)越的性能決定了它一定會(huì)在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機(jī)在行內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。

　　目前各種螺桿真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，但一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場(chǎng)需求量很大, 大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。如果您還有什么疑惑的話，歡迎來咨詢我們！